MEMS傳感器即微機(jī)電系統(tǒng)（Microelectro Mechanical Systems），是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域。經(jīng)過四十多年的發(fā)展，已成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一。它涉及電子、機(jī)械、材料、物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)等多種學(xué)科與技術(shù)，具有廣闊的應(yīng)用前景。截止到2010年，世界有大約600余家單位從事MEMS的研制和生產(chǎn)工作，已研制出包括微型壓力傳感器、加速度傳感器、微噴墨打印頭、數(shù)字微鏡顯示器在內(nèi)的幾百種產(chǎn)品，其中MEMS傳感器占相當(dāng)大的比例。MEMS傳感器是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器。與傳統(tǒng)的傳感器相比，它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實(shí)現(xiàn)智能化的特點(diǎn)。同時(shí)，在微米量級(jí)的特征尺寸使得它可以完成某些傳統(tǒng)機(jī)械傳感器所不能實(shí)現(xiàn)的功能。

1.應(yīng)用于醫(yī)療MEMS傳感器應(yīng)用于無創(chuàng)胎心檢測(cè)，檢測(cè)胎兒心率是一項(xiàng)技術(shù)性很強(qiáng)的工作，由于胎兒心率很快，在每分鐘l20～160次之間，用傳統(tǒng)的聽診器甚至只有放大作用的超聲多普勒儀，用人工計(jì)數(shù)很難測(cè)量準(zhǔn)確。而具有數(shù)字顯示功能的超聲多普勒胎心監(jiān)護(hù)儀，價(jià)格昂貴，僅為少數(shù)大醫(yī)院使用，在中、小型醫(yī)院及廣大的農(nóng)村地區(qū)無法普及。此外，超聲振動(dòng)波作用于胎兒，會(huì)對(duì)胎兒產(chǎn)生很大的不利作用。盡管檢測(cè)劑量很低，也屬于有損探測(cè)范疇，不適于經(jīng)常性、重復(fù)性的檢查及家庭使用。基于VTI公司的MEMS加速度傳感器，提出一種無創(chuàng)胎心檢測(cè)方法，研制出一種簡(jiǎn)單易學(xué)、直觀準(zhǔn)確的介于胎心聽診器和多普勒胎兒監(jiān)護(hù)儀之間的臨床診斷和孕婦自檢的醫(yī)療輔助儀器。通過加速度傳感器將胎兒心率轉(zhuǎn)換成模擬電壓信號(hào)，經(jīng)前置放大用的儀器放大器實(shí)現(xiàn)差值放大。然后進(jìn)行濾波等一系列中間信號(hào)處理，用A/D轉(zhuǎn)換器將模擬電壓信號(hào)轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)。通過光隔離器件輸入到單片機(jī)進(jìn)行分析處理，最后輸出處理結(jié)果。基于MEMS加速度傳感器設(shè)計(jì)的胎兒心率檢測(cè)儀在適當(dāng)改進(jìn)后能夠以此為終端，做一個(gè)遠(yuǎn)程胎心監(jiān)護(hù)系統(tǒng)。醫(yī)院端的中央信號(hào)采集分析監(jiān)護(hù)主機(jī)給出自動(dòng)分析結(jié)果，醫(yī)生對(duì)該結(jié)果進(jìn)行診斷，如果有問題及時(shí)通知孕婦到醫(yī)院來。該技術(shù)有利于孕婦隨時(shí)檢查胎兒的狀況，有利于胎兒和孕婦的健康。

日本辻產(chǎn)業(yè) Tsuji 克令吊，液壓件，泵，馬達(dá)：

克令吊液壓馬達(dá) A6V500HD6.2FZ-2091-995-1

克令吊液壓泵 A4VG180HDD1/32-NSD02KD11E+GSP2-B1A16AR-A0-753-0

日本辻產(chǎn)業(yè)Tsuji 液壓馬達(dá) A6V500HD6.2FZ-2091-995-1

日本辻產(chǎn)業(yè)Tsuji 液壓馬達(dá) A4VG180HDD1/32-NSD02KD11E

日本辻產(chǎn)業(yè)Tsuji 液壓馬達(dá) GSP2-B1A16AR-A0-753-0

日本辻產(chǎn)業(yè) Tsuji NDVG-06R-14 WITH NLCG-06-11 手動(dòng)閥

日本辻產(chǎn)業(yè) Tsuji 手動(dòng)閥 NDVG-06R-14 WITH NLCG-06-11

三石系列液壓馬達(dá)：

AMC-30A-M2-31 日本三菱 MITSUBISHI 液壓馬達(dá)

AMC-30A-M2 日本三菱 MITSUBISHI 液壓馬達(dá)

RMC-210A-L-22Y 日本三菱 MITSUBISHI 液壓馬達(dá)

RMC-350A-L-22Y 日本三菱 MITSUBISHI 液壓馬達(dá)

RMM-350A 日本三菱 MITSUBISHI 液壓馬達(dá)

RMM-210A 日本三菱 MITSUBISHI 液壓馬達(dá)

TMC-55A-M 日本三菱 MITSUBISHI 液壓馬達(dá)

德國(guó)EGON HARIG 火焰探測(cè)器 FL/SS7510/35MIL

日本IHI 液壓馬達(dá) HVLG‐DSS

日本IHI 液壓馬達(dá) HVLG‐SS

日本IHI 液壓馬達(dá) HVKG‐DSS

日本IHI 液壓馬達(dá) HVKG‐SS

日本IHI 液壓馬達(dá) HVLP‐SS

日本IHI 液壓馬達(dá) HVLKP‐SS

日本IHI 液壓馬達(dá) HVKKP‐SS

丹佛斯DANFOSS 海水泵 APPW8.2 180B3078

丹佛斯DANFOSS 海水泵 APPW8.2 180B3078

丹佛斯DANFOSS 海水泵 APP1.5 180B3043

丹佛斯DANFOSS 海水泵 APP3.0 180B3030

丹佛斯DANFOSS 海水泵 APP3.5 180B3032

丹佛斯DANFOSS 海水泵 APP0.6 180B3048

丹佛斯DANFOSS 海水泵 APP2.2 180B3045

丹佛斯DANFOSS 海水泵 APP8.2 180B3008

丹佛斯DANFOSS 海水泵 APPW10.2 180B3080

丹佛斯DANFOSS 高壓泵APP10.2 180B3010

丹佛斯DANFOSS PAH 63 180B0040 高壓泵

丹佛斯DANFOSS 高壓泵 PAH63 18OB0017

丹佛斯DANFOSS PAHT 32 180B0021 柱塞泵

丹佛斯DANFOSS 高壓泵 APP1  180B3042

丹佛斯DANFOSS 高壓泵 APP 2.2 180B3045

APP 21-26/18084165 Danfoss 閥板套件

APP21-46 &APPWHC15-30/180B4633 接口法蘭套件

DANFOSS丹佛斯 APP 26/1500 180B3057 海水泵

PAHT 25 180B0020 DANFOSS丹佛斯 海水泵

PAHT 32 180B0021 DANFOSS丹佛斯 海水泵

PAH 70 180B0042 DANFOSS丹佛斯 海水泵 高壓柱塞泵

PAH 80 180B0041

2.應(yīng)用在汽車電子MEMS壓力傳感器主要應(yīng)用在測(cè)量氣囊壓力、燃油壓力、發(fā)動(dòng)機(jī)機(jī)油壓力、進(jìn)氣管道壓力及輪胎壓力。這種傳感器用單晶硅作材料，以采用MEMS技術(shù)在材料中間制作成力敏膜片，然后在膜片上擴(kuò)散雜質(zhì)形成四只應(yīng)變電阻，再以惠斯頓電橋方式將應(yīng)變電阻連接成電路，來獲得高靈敏度。車用MEMS壓力傳感器有電容式、壓阻式、差動(dòng)變壓器式、聲表面波式等幾種常見的形式。而MEMS加速度計(jì)的原理是基于牛頓的經(jīng)典力學(xué)定律，通常由懸掛系統(tǒng)和檢測(cè)質(zhì)量組成，通過微硅質(zhì)量塊的偏移實(shí)現(xiàn)對(duì)加速度的檢測(cè)，主要用于汽車安全氣囊系統(tǒng)、防滑系統(tǒng)、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)和防盜系統(tǒng)等，除了有電容式、壓阻式以外，MEMS加速度計(jì)還有壓電式、隧道電流型、諧振式和熱電偶式等形式。其中，電容式MEMS加速度計(jì)具有靈敏度高、受溫度影響極小等特點(diǎn)，是MEMS微加速度計(jì)中的主流產(chǎn)品。微陀螺儀是一種角速率傳感器，主要用于汽車導(dǎo)航的GPS信號(hào)補(bǔ)償和汽車底盤控制系統(tǒng)，主要有振動(dòng)式、轉(zhuǎn)子式等幾種。應(yīng)用最多的屬于振動(dòng)陀螺儀，它利用單晶硅或多晶硅的振動(dòng)質(zhì)量塊在被基座帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的哥氏效應(yīng)來感測(cè)角速度。例如汽車在轉(zhuǎn)彎時(shí)，系統(tǒng)通過陀螺儀測(cè)量角速度來指示方向盤的轉(zhuǎn)動(dòng)是否到位，主動(dòng)在內(nèi)側(cè)或者外側(cè)車輪上加上適當(dāng)?shù)闹苿?dòng)以防止汽車脫離車道，通常，它與低加速度計(jì)一起構(gòu)成主動(dòng)控制系統(tǒng)。

EMG LLS 1075 線性光源發(fā)射器

ESSV1-10/8/315/6 糾編伺服閥

SV1-10/16/315/8 伺服閥

EMG光電式測(cè)量傳感器 EVM2-CP/1850 71/L/R

EMG高頻光源發(fā)射器 LLS875/01

EMG數(shù)字式控制器 ICON SE+VS/AE1054

EMG適配器 EVB03.01

EMG對(duì)中光源發(fā)射器LID2-800.2C

EMG KLW300-012

EMG CPC LS14.02

EMG KLW 360.012

EMG EPC EVM2-CP/1300.71/L/R

EMG EPC CCDPro 5000

EMG CPC LS13.01

EMG電動(dòng)缸LLS 675/02

EMG 伺服閥 SV1-10/32/315-6

EMG 伺服閥 SV1-10/16/315/6    

EMG 伺服閥 SV1-10/8/315/6    

EMG 伺服閥 SV1-10/48/315/6  

EMG 伺服閥 SV1-10/8/120/6    

EMG 伺服閥 SV1-10/16/120/6  

EMG 伺服閥 SV1-10/8/315/6

EMG 伺服閥 SV1-10/16/120/6

EMG 伺服閥 SV1-10/48/315-6

EMG 伺服閥 SV1-10/16/315-6

EMG 伺服閥 SV1-10/8/100-6

從以上的介紹可以看出，僅僅在生物醫(yī)學(xué)方面，物理傳感器就有著多種多樣的應(yīng)用。傳感器的發(fā)展方向是多功能、有圖像的、有智能的傳感器。傳感器測(cè)量作為數(shù)據(jù)獲得的重要手段，是工業(yè)生產(chǎn)乃至家庭生活所 不可少的器件，而物理傳感器又是最普通的傳感器家族，靈活運(yùn)用物理傳感器必然能夠創(chuàng)造出更多的產(chǎn)品，更好的效益。

它們的轉(zhuǎn)換原理(傳感器工作的基本物理或化學(xué)效應(yīng))；它們的用途；它們的輸出信號(hào)類型以及制作它們的材料和工藝等。根據(jù)傳感器工作原理，可分為物理傳感器和化學(xué)傳感器二大類：傳感器工作原理的分類物理傳感器應(yīng)用的是物理效應(yīng)，諸如壓電效應(yīng)，磁致伸縮現(xiàn)象，離化、極化、熱電、光電、磁電等效應(yīng)。被測(cè)信號(hào)量的微小變化都將轉(zhuǎn)換成電信號(hào)?；瘜W(xué)傳感器包括那些以化學(xué)吸附、電化學(xué)反應(yīng)等現(xiàn)象為因果關(guān)系的傳感器，被測(cè)信號(hào)量的微小變化也將轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。有些傳感器既不能劃分到物理類，也不能劃分為化學(xué)類。大多數(shù)傳感器是以物理原理為基礎(chǔ)運(yùn)作的?；瘜W(xué)傳感器技術(shù)問題較多，例如可靠性問題，規(guī)模生產(chǎn)的可能性，價(jià)格問題等，解決了這類難題，化學(xué)傳感器的應(yīng)用將會(huì)有巨大增長(zhǎng)。常見傳感器的應(yīng)用領(lǐng)域和工作原理列于下表。

EMG 傳感器 KLW 300.012

EMG 傳感器 KLW 150.012

EMG 傳感器 KLW 225.012

EMG 傳感器 KLW 360.012

EMG 傳感器 KLW150.012

EMG 傳感器 KLW225.012

EMG 傳感器 KLW300.012

EMG 傳感器 KLW450.012

EMG 傳感器 KLW600.012

SV1-10/8/315/6 伺服閥 EMG

SV1-10/48/315/6伺服閥 EMG

SV1-10/32/100/6 伺服閥 EMG

SV1-10/8/120/6 伺服閥 EMG

SV1-10/4/120/6 伺服閥 EMG

SV2-16/125/315/1/1/01伺服閥EMG

HFE400/10H濾芯EMG

KLM300/012位移傳感器EMG

LLS675/02 LICHTBAND對(duì)中整流器EMG

3.應(yīng)用于運(yùn)動(dòng)追蹤系統(tǒng)在運(yùn)動(dòng)員的日常訓(xùn)練中，MEMS傳感器可以用來進(jìn)行3D人體運(yùn)動(dòng)測(cè)量，對(duì)每一個(gè)動(dòng)作進(jìn)行記錄，教練們對(duì)結(jié)果分析，反復(fù)比較，以便提高運(yùn)動(dòng)員的成績(jī)。隨著MEMS技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展，MEMS傳感器的價(jià)格也會(huì)隨著降低，這在大眾健身房中也可以廣泛應(yīng)用。在滑雪方面，3D運(yùn)動(dòng)追蹤中的壓力傳感器、加速度傳感器、陀螺儀以及GPS可以讓使用者獲得極精確的觀察能力，除了可提供滑雪板的移動(dòng)數(shù)據(jù)外，還可以記錄使用者的位置和距離。在沖浪方面也是如此，安裝在沖浪板上的3D運(yùn)動(dòng)追蹤，可以記錄海浪高度、速度、沖浪時(shí)間、漿板距離、水溫以及消耗的熱量等信息。